将一个密闭容器，接上真空泵，对它进行持续抽气，然后密闭容器内的气体压力就会低于大气压，达到负压状态。不但如此，经过特殊的技术改进，除了单抽气的真空泵外，还可以形成抽气打气两用的微型真空泵(即排气端可以产生比较大的正压)，用于增压、充气、克服系统阻力等等以及非常独特的水气两用微型真空泵，它可以用于需要长期空转、干转等等场合。
旋片式真空泵泵温太高，指低级排气阀左近测得的油温超越运用值。由于泵温太高会使泵油粘度大下降，并使泵油的饱和蒸汽压降低，使泵的极限压力降低和抽气效率下降；使橡胶件容易老化，热收缩使运转间隙减少，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的牢靠性。泵温太高的缘由可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却安装无效，泵临时延续运转入口压力太高，水冷泵冷却水量缺乏，循环水设计效果不佳，温控水量调理阀生效等。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对泵有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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